目前水质要求最高的超纯水是在半导体行业,根据半导体芯片的尺寸和线径要求不同水质其超纯水的指标如下:电阻率大于18.2兆欧(25摄氏度);TOC(总有机碳)小于1~10ppb,DO(溶解氧)小于1~10ppb;颗粒:0.05微米小于200个/升;离子含量大多小于20-50PPT;;细菌检测:无,超纯水。1、什么水toc值最小超纯水。超纯水的水质指数如下:电阻率大于18.2兆欧(25摄氏度);TOC(总有机碳)小于1~10ppb,DO(溶解氧)小于1~10ppb;颗粒:0.05微米小于200个/升;离子含量大...
更新时间:2023-04-27标签: particle水质仪表particle纯水水质半导体仪表 全文阅读