按材质刻蚀,可分为硅刻蚀、电介质刻蚀、金属刻蚀。根据刻蚀工艺,主要分为干法刻蚀和湿法刻蚀,光刻机通过显影技术将线路图复制到硅片上,而刻蚀在硅片上加工刻槽或接触孔,由于干法刻蚀可以实现各向异性刻蚀满足目前半导体制造中高精度、高集成度的要求,所以小尺寸的先进工艺基本采用干法刻蚀从而产生了干法刻蚀。1、国际硅片清洗机主流制造商有哪些?主要想知道欧美、日韩台地区的?硅片清洗机都是根据硅片清洗工艺设计的。国产清洗机肯定没问题。就问要不要买。国外大概有200万台清洗机,都是日本的。我已经联系了他们。我专门清洗单晶和多...
更新时间:2023-08-17标签: icp刻蚀厂家icp刻蚀机 厂家 全文阅读